早わかりQ&A クリーンルームの設計・施工マニュアル2024改訂版の感想・レビュー

いずみさん

教育資料を作成するのに改めて読み直した。1つ1つの項目は詳細まで載っているわけではないが、クリーンルームがどういうものであるか、空調や生産排気はどういうものがあるかぐらいは分かるので、半導体工場で従事する人は一読しておくと良い。特にフィルターなどについては体系的によくまとめられている印象で、これらの知識を知らずに適切な保全管理はできない。